在千亿级产业集群——光电子信息产业基地光电产业圈的中枢区，武汉中旗光电科技有限公司（以下简称中旗光电）的会议室里，创举东谈顾主勇刚和手艺主干就中枢产物晶圆卡盘的又一次手艺升级开展商量。与此同期，在光谷土产货的一处车间，一块块晶圆卡盘正从分娩线上凯旋下线。

在刚刚举行的第四届武汉大学生“英雄杯”改变创业大赛中，智能制造赛谈的顾勇刚团队从837个参赛神气中脱颖而出，以“基于高精度半导体温度规章手艺产业化”神气获取大赛一等奖。

“拿到大奖，不仅是对神气手艺实力与交易远景的认同，更是武汉这片改变创业热土茁壮渴望与无尽机遇的最好印证。”在顾勇刚看来，“楚材聚汉 共建支点”行径营造起浓厚的创业改变氛围，为一众创业者搭建起通向凯旋的桥梁，面临改日，他满怀期待。

顾勇刚代表团队参加第四届武汉大学生“英雄杯”改变创业大赛。记者刘晨玮 摄

既可加热也可制冷

5分钟内完成变温

在半导体芯片制造界限，精密温度规章手艺是确保芯片良品率与性能的要津要素。从光刻、刻蚀、薄膜千里积等前谈工艺，到固晶、塑封、测试等后谈设施，真实各设施齐对温度精度有着严苛条目。一朝温渡过高，会影响芯片的处理速率与功耗，还可能缩小芯片的使用寿命。因此，要确保芯片制造的踏实性和可靠性，就要掌捏好精密温控手艺。

在温度规章体系中，晶圆卡盘处于中枢肠位，号称“金冠顶上的明珠”。

工程师周华健先容，传统调温高温多使用电加热丝，加热时间需35分钟。传统调温低温使用冷媒或液氮，变温时间也需35分钟。现时，公司产物冲破时长，既可加热也可制冷，5分钟内完成变温，价钱上较传统产物着落2/3，具有极大的阛阓上风。

“冲破半导体级温控手艺壁垒，才调推动扫尾全产业链国产化替代。”顾勇刚斩钉截铁地说谈。

正在武汉大学攻读集成电路科学与工程专科博士的顾勇刚，照旧领有5家公司，掩盖半导体制造、激光医疗、生物科技等行业。本年，是中旗光电开发的第十年。对准中枢手艺攻坚十年，企业已成为行业龙头京东方、歌尔的供货商。

参加大赛

团队收货远超“一座奖杯”

据了解，中旗光电已和6所着名高校共建执行室，配合单元高出500家，团队苦求的国度重心神气已凯旋立项。

为何要参加“英雄杯”大赛？顾勇正大言，他敬重的恰是这个一流的大学生改变创业展示换取平台。大赛时间及后续对接算作中，团队与武汉大学、华中科技大学等高校的执行室、接洽团队进行了深切换取，“深度的产学研会通，将极大加快咱们中枢手艺的迭代升级”。

阛阓心疼相似为团队注入发展动能。大赛舞台上，顾勇刚自信先容，研发系统在温控反应速率、能效等到空间运用率等中枢有盘算上扫尾了要紧冲破，具备反应迅捷、规章精度高档权贵上风。全标的的展示眩惑了无边着名投资机构的和顺。赛中及赛后，江城产业投资基金、达晨财智创投、普朗克创投等创投契构伸出橄榄枝，已有投资机构抒发了明确的投资意向。大赛披发的奖金也将用于中枢产物晶圆静电卡盘的系统研发及产业化。顾勇刚信心倍增，“大赛搭建的平台为公司下一阶段的研发参加和阛阓拓展提供强有劲的资金保险”。

当得知大赛组委会将提供一双一东谈主才专员管事，提供“量文体衣”式创业指令、融资对接、策略接济、孵化加快等全链条管事，团队成员眼中迸发出惊喜的光辉——策略迷雾有东谈主拨开，资源孤岛有桥通顺，成长瓶颈有梯最初。

靠近企业需求

期待在武汉成长壮大

跟着阛阓需求爆发式增长，尤其是5G、AI、第三代半导体的提升，条目晶圆卡盘具备更高温控精度和材料适应性，催生新一代产物需求。

顾勇刚先容，公司已苦求47项策动实用新式专利和10项软件著述权。企业也靠近买方企业需求，提供快速反应与定制化措置决策，攻关高纯度制备工艺。

“有各方面的维持，咱们对改日更有信心。”他先容，本年，公司迎来多方面阐发：上半年订单冲破两千万元，产物进入多家半导体设备企业进行测试……团队期待着，陆续在武汉成长壮大，积极拥抱千亿级阛阓。

在“楚材聚汉 共建支点”行径的带动下，顾勇刚和他的创业团队将不时破解精密温度规章的“手艺密码”，加快鼓舞与高校、企业的配合，依靠硬核产物，为构建体现武汉上风的当代化产业体系孝敬芳华力量。

信息开首：长江日报